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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：DIAVAC日本大亞濺射設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號：SR-350DS-31-N
  • 產(chǎn)品廠商：DIAVAC日本大亞
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
緊湊經(jīng)濟，適合研發(fā) 通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現(xiàn)全自動濺射
詳情介紹：

■ 緊湊經(jīng)濟，適合研發(fā) ■ 通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現(xiàn)全自動濺射

電池材料、微機械、防反射膜、阻隔膜、透明導電膜、記錄介質(zhì)

目的：該裝置的目的是濺射各種材料

標準規(guī)格

真空室
（濺射室） 		圓柱形，SUS304，內(nèi)部尺寸ф350 x H270
頂蓋上升旋轉(zhuǎn)式（空氣液壓驅(qū)動） 極限
壓力：1x 10-4Pa以下 帶百葉窗的窺視孔

烘烤加熱器（可選）
濺射式（可改為濺射式）
陰極 2“ 磁控管陰極 4
個用于磁性靶材的陰極（可選） 遠程
操作單個百葉窗（可選：定時器驅(qū)動） RFxRF
或 RFxDC（可選） 可同時放電
PCB支架 ф280旋轉(zhuǎn)基板支架
3~30rpm連續(xù)旋轉(zhuǎn)或90o步進給
水冷卻（可選：300oC加熱）可反向
濺射（RF300W）（可選）
排氣系統(tǒng) 300 L/sec TMP + RP（可選：可改為干泵） 通過蝶閥調(diào)節(jié)電
導率（手動） 自動
運行排氣和干氣泄漏
氣體基 質(zhì)量流量控制器：2線（可選：可加裝氣體系列）
真空計 寬帶電離真空計 + 皮拉尼真空計
濺射電源 2 x RF300W（可選：可添加直流電源） 兩個
單元都是自動匹配的
效用 安裝空間：約W2000 x D1000 x H1500冷卻
水：3 L/min，0.1~0.15 MPa
電源容量：3ф 200V 5kVA
濺射氣體，泄漏干燥氣體
選擇 請參考以上運輸室、
裝卸室
等項目。

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